行星減速機的齒輪傳動裝備的重量一般與齒輪重量成正比，齒輪重量與其材料和熱處理硬度有很大關系。例如，在同樣的功率下，滲碳淬火齒輪的重量大約是調質齒輪重量的1/3。因此，對于行星減速機的結構特性和負載特性，必須廣泛使用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪的熱處理方法有很多，如表面淬火、整體淬火、滲碳、氮化等，應根據行星減速機的特性加以考慮和選擇。

　　1、表面淬火

　　常見的表面淬火方法是高頻淬火(用于小尺寸齒輪)和火焰淬火(用于大尺寸齒輪)。當表面硬化的硬化層包括根部的底部時，效果良好。用于表面淬火的材料是碳質量分數為約0.35%至0.5%的鋼，并且齒面的硬度可以達到45~55HRC。

　　2、滲碳淬火

　　滲碳淬火齒輪具有較大的承載能力，但為了保證精度，必須采用精加工(磨削)消除熱處理變形。

　　滲碳淬火齒輪通常使用質量分數為0.2的合金鋼，在滲碳前使用質量分數為0.3的合金鋼，其表面硬度通常在58~62hrc之間。若低于57hrc，牙齒表面強度明顯下降，高于62hrc時脆性增加。齒輪中心的硬度一般為310~330hbw。滲碳淬火齒輪的硬度應由表面逐漸降低至齒輪的深層，而有效滲碳深度應由表面逐漸降低至深層;有效的滲碳深度應該是從表面到硬度為52.5hrc的深度。

　　滲碳和淬火在齒輪彎曲疲勞強度中的作用不僅在于提高了芯部的硬度，而且在于提高了表面的殘余壓應力，從而降低了齒輪齒應力區域的應力。因此，在磨削牙齒時不能磨削根部，并且在滾齒時應使用滾刀的量。

　　3、滲氮

　　滲氮可以保證小變形條件下齒輪齒的高硬度和高耐磨性。經過熱處理后，不能再進行精加工，承載力得到提高。這對于不易磨齒的內齒輪具有特殊的意義。

　　4、嚙合齒輪的硬度組合

　　當大齒輪和小齒輪是軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪的齒面硬度。當兩個車輪都是硬齒并且硬度很高時，兩個車輪的硬度是相同的。

　　選用優質的行星減速機齒輪材料有助于提高行星減速機的承載能力和使用壽命。